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U21SL系列高純減壓器

U21SL(U21)系列單級減壓器適用于非腐蝕性,腐蝕性,有毒氣體。膜片和閥體的密封采用硬密封的設計,降低泄漏率,

同時提高了安全性和使用壽命。

結構特點 Featuresfilename

h 316L 不銹鋼母體

h 膜片式硬密封,泄漏率低

h 可采用面板安裝和后座安裝

h 壓力表標準連接: 1/4” FSR(M)

可選:1/4” FSR (F)

h 內部電解拋光

h 高清潔的組裝和包裝將適用于高純潔度的半導體產業

h 使用壽命長

h 100% 氦氣測試

材質 Materials

h 母體:316L

h 閥座:PCTFE*,Vespel?

h 膜片:316L

h 上蓋:316

功能特性 Functional Performance

h 流量:Cv=0.14

h 母體泄漏率:2x10-8 atm cc/sec He

h 閥座泄漏率:4x10-8 atm cc/sec He

h 設計驗證壓力:**額定壓力的 150%

h 設計爆破壓力:**額定壓力的 400%

工作條件 Operating Conditions

h **的入口壓力:500 psi (35 bar), 3000 psi (206 bar)

h 出口壓力:0- 25 psi (1.7 bar) , 0-50 psi (3 bar),

0-100 psi (7 bar), 0-250 psi (17 bar),

0-500 psi (35 bar)

h 溫度: -40℃~74℃(-40℉~165℉)

流道表面 Surface Finish

h 標準:Ra 20μin

h 可選:Ra 10μin

內部容積 Internal Volume

h 4.6 cc

*: 標準材質

filename

130493003
U21SLAK-DIW-91-91
不銹鋼 316L, 0.14 Cv, 2孔, 3000psi/100psi, 無表, 1/4" FSR( F )


130493005
U21SLAK-DIW-91-91-E
不銹鋼 316L, 0.14 Cv, 2孔, 3000psi/100psi, 無表, 1/4" FSR( F ), EP級

130403002
U21SLBK-FIW-92-92
不銹鋼 316L, 0.14 Cv, 3孔, 500psi/100psi, 無表, 1/4" FSR( M )

130403006
U21SLBK-FIW-92-92-P
不銹鋼 316L, 0.14 Cv, 3孔, 500psi/100psi, 無表, 1/4" FSR( M ), 面板安裝

130403504
U21SLBK-FIP-92-92
不銹鋼 316L, 0.14 Cv, 3孔, 500psi/100psi, 帶表, 1/4" FSR( M )

130403509
U21SLBK-FIP-91-91-E
不銹鋼 316L, 0.14 Cv, 3孔, 500psi/100psi, 帶表, 1/4" FSR( F ), EP級

130403007
U21SLBK-DIP-92-92-E
不銹鋼 316L, 0.14 Cv, 3孔, 3000psi/100psi, 帶表, 1/4" FSR( M ), EP級

130403515
U21SLBK-FIP-92-92-E
不銹鋼 316L, 0.14 Cv, 3孔, 500psi/100psi, 帶表, 1/4" FSR( M ), EP級

130423502
U21SLGK-DIW-92-92
不銹鋼 316L, 0.14 Cv, 4孔, 3000psi/100psi, 無表, 1/4" FSR( M )

130423001
U21SLGK-DIW-92-92-E
不銹鋼 316L, 0.14 Cv, 4孔, 3000psi/100psi, 無表, 1/4" FSR( M ), EP級

130426507
U21SLGK-DFP-92-92
不銹鋼 316L, 0.14 Cv, 4孔, 3000psi/500psi, 帶表, 1/4" FSR( M )


130425512
U21SLGK-DGP-92-92
不銹鋼 316L, 0.14 Cv, 4孔, 3000psi/250psi, 帶表, 1/4" FSR( M )


130423536
U21SLGK-DIG-92-92
不銹鋼 316L, 0.14 Cv, 4孔, 3000psi/100psi, 帶表, 1/4" FSR( M )

1304235513
U21SLGK-DJP-91-91-P
不銹鋼 316L, 0.14 Cv, 4孔, 3000psi/75psi, 帶表, 1/4" FSR( F ), 面板安裝

130422003
U21SLGK-DKG-92-92
不銹鋼 316L, 0.14 Cv, 4孔, 3000psi/50psi, 帶表, 1/4" FSR( M )

130423511
U21SLGK-DSP-92-92
不銹鋼 316L, 0.14 Cv, 4孔, 3000psi/100psi, 帶表, 1/4" FSR( M )

1304235514
U21SLGK-DIG-91-91-E
不銹鋼 316L, 0.14 Cv, 4孔, 3000psi/100psi, 帶表, 1/4" FSR( F ), EP級

130423517
U21SLGK-DIP-91-91-E
不銹鋼 316L, 0.14 Cv, 4孔, 3000psi/100psi, 帶表, 1/4" FSR( F ), EP級

130423515
U21SLGK-DIP-92-92-E
不銹鋼 316L, 0.14 Cv, 4孔, 3000psi/100psi, 帶表, 1/4" FSR( M ), EP級

130393004
U22SLAK-FIW-95-95
不銹鋼 316L, 1.0 Cv, 2孔, 500psi/100psi, 無表, 1/2" FSR( F )

130393005
U22SLAK-FIW-95-95-E
不銹鋼 316L, 1.0 Cv, 2孔, 500psi/100psi, 無表, 1/2" FSR( F ), EP級

130304000
U22SLBK-DHP-96-96
不銹鋼 316L, 1.0 Cv, 3孔, 3000psi/150psi, 帶表, 1/2" FSR( M )

130305504
U22SLBK-DGP-95-95-P
不銹鋼 316L, 1.0 Cv, 3孔, 3000psi/250psi, 帶表, 1/2" FSR( F ), 面板安裝

130304503
U22SLBK-FHP-95-95
不銹鋼 316L, 1.0 Cv, 3孔, 500psi/150psi, 帶表, 1/2" FSR( F )

130302501
U22SLBK-FKP-95-95
不銹鋼 316L, 1.0 Cv, 3孔, 500psi/50psi, 帶表, 1/2" FSR( F )

130303004
U22SLBK-FLP-96-96
不銹鋼 316L, 1.0 Cv, 3孔, 500psi/25psi, 帶表, 1/2" FSR( M )

130304502
U22SLBK-DHP-96-96-E
不銹鋼 316L, 1.0 Cv, 3孔, 3000psi/150psi, 帶表, 1/2" FSR( M ), EP級

130305503
U22SLBK-FGP-95-95-E
不銹鋼 316L, 1.0 Cv, 3孔, 500psi/250psi, 帶表, 1/2" FSR( F ), EP級

130303002
U22SLBK-FIP-95-95-E
不銹鋼 316L, 1.0 Cv, 3孔, 500psi/100psi, 帶表, 1/2" FSR( F ), EP級

130302500
U22SLBK-FKP-95-95-E
不銹鋼 316L, 1.0 Cv, 3孔, 500psi/50psi, 帶表, 1/2" FSR( F ), EP級

130323300
U22SLGK-DIW-96-96
不銹鋼 316L, 1.0 Cv, 4孔, 3000psi/100psi, 無表, 1/2" FSR( M )

130323400
U22SLGK-DIW-96-96-E
不銹鋼 316L, 1.0 Cv, 4孔, 3000psi/100psi, 無表, 1/2" FSR( M ), EP級

130325503
U22SLGK-DGP-95-95
不銹鋼 316L, 1.0 Cv, 4孔, 3000psi/250psi, 帶表, 1/2" FSR( F )

130325504
U22SLGK-DGP-95-95-E
不銹鋼 316L, 1.0 Cv, 4孔, 3000psi/250psi, 帶表, 1/2" FSR( F ), EP級

131393001
U23SLAK-DIW-95-95-E
不銹鋼 316L, 1.8 Cv, 2孔, 3000psi/100psi, 無表, 1/2" FSR( F ), EP級

131394003
U23SLAK-DIW-96-96
不銹鋼 316L, 1.8 Cv, 2孔, 3000psi/100psi, 無表, 1/2" FSR( M )

131303001
U23SLBK-DIW-96-96
不銹鋼 316L, 1.8 Cv, 3孔, 3000psi/100psi, 無表, 1/2" FSR( M )

131304501
U23SLBK-DHP-95-95
不銹鋼 316L, 1.8 Cv, 3孔, 3000psi/150psi, 帶表, 1/2" FSR( F )

131304503
U23SLBK-DHP-95-95-E
不銹鋼 316L, 1.8 Cv, 3孔, 3000psi/150psi, 帶表, 1/2" FSR( F ), EP級

131323300
U23SLGK-DIW-96-96
不銹鋼 316L, 1.8 Cv, 4孔, 3000psi/100psi, 無表, 1/2" FSR( M )

131323400
U23SLGK-DIW-96-96-E
不銹鋼 316L, 1.8 Cv, 4孔, 3000psi/100psi, 無表, 1/2" FSR( M ), EP級

131324502
U23SLGK-DHP-95-95
不銹鋼 316L, 1.8 Cv, 4孔, 3000psi/150psi, 帶表, 1/2" FSR( F )

131323503
U23SLGK-FIP-95-95-E
不銹鋼 316L, 1.8 Cv, 4孔, 500psi/100psi, 帶表, 1/2" FSR( F ), EP級

131121003
U53SLBK-GLW-91-91-P
不銹鋼 316L, 0.1 Cv, 3孔, 250psi/25psi, 無表, 1/4" FSR( F ), EP級, 面板安裝


131101501
U53SLBK-GLP-91-91
不銹鋼 316L, 0.1 Cv, 3孔, 250psi/25psi, 帶表, 1/4" FSR( F ), EP級

131121005
U53SLGK-GLW-91-91
不銹鋼 316L, 0.1 Cv, 4孔, 250psi/25psi, 無表, 1/4" FSR( F ), EP級

131121500
U53SLGK-GLP-91-91
不銹鋼 316L, 0.1 Cv, 4孔, 250psi/25psi, 帶表, 1/4" FSR( F ), EP級


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